صفحه محصول - پاورپوینت شناخت بخار فلزات

پاورپوینت شناخت بخار فلزات (pptx) 14 اسلاید

دسته بندی : پاورپوینت

نوع فایل : PowerPoint (.pptx) ( قابل ویرایش و آماده پرینت )

تعداد اسلاید: 14 اسلاید

قسمتی از متن PowerPoint (.pptx) :

شناخت بخار فلزات انواع بخار فلزات بخار فیزیکی فلزات Physical Vapor Deposition (PVD) بخار شیمیایی فلزات Chemical Vapor Deposition (CVD) معرفی روش PVD روشی تمیز و همراه با خلاء خشک است. در این روش همه جای شیء مورد عملیات قرار می گیرد نه یک جای مشخص. در این روش اتمی که در فاز گاز قرار دارد جای اتمی که در فاز جامد را دارد می گیرد و مولکول جابه جا شده به فاز جامد باز می گردد. PVD معرفی سه تکنولوژی اساسی برای PVD وجود دارد: روکش کاری یونی تبخیر کاتد پرانی PVD تعاریف و شرایط CVD روشی برای تولید محصولات با خلوص و کارایی بالاست. این روش معمولا در صنایع نیمه هادی ها برای تولید فیلم قلع استفاده می شود. در این روش ویفر در معرض یک یا چند مواد پشیران سبک قرار می گیرد که با سطح مورد نظر واکنش داده و رسوب مناسب را تولید می کند. این فرآیند معمولا توسط جریان گاز و در محفظه انجام می شود. CVD تعریف و کاربرد CVD در فرآیندهای ساخت قطعات کوچک به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد. فرم های مختلف مورد استفاده: تک کریستال-پلی کریستال-بی شکل-هم بافت ها این مواد شامل: سیلیسکون-رشته کربن-کربن غیر رشته ای-کربن های غیر لوله ای- SiO2 -سیلیکون ژرمانیم-تنگستن-سیلیکون کاربید-سیلیکون نیترید-تیتانیم نیترید- CVD انواع CVD طبقه بندی بر اساس فشار عملیات فرآیند در فشار اتمسفر ( APCVD ) فرآیند در فشار پایین ( LPCVD ) (کاهش فشار باعث کاهش تمایل گاز به تغییر می شود و این موضوع کیفیت کار را بالا می برد.) فرآیند در خلاء( UHVCVD ) طبقه بندی بر اساس خصوصیات فیزیکی بخار AACVD DLICVD CVD گام های فرآیند CDV 1-تبخیر و انتقال مولکول های پیشران به راکتور 2-پخش شدن مولکول های پیشران در سطح 3-جذب سطحی مولکول های پیشران 4-واکنش دادن مولکول های پیشران با سطح و یکی شدن با فیلم 5-واکنش دوباره و بازگشت به فاز گاز CVD CVD کاربرد ها از روش می توان برای ساخت قطعات توپر و توخالی استفاده کرد. برای ساخت قطعات خالی می توان از ماده با دمای تبخیر پایین به عنوان پایه استفاده کرد. سپس با نشان دادن مولکول های فلز مورد نظر روی سطح پایه،قطعه مورد نظر را تولید کرد. با حرارت دادن قطعه می توان ماد پایه را ذوب کرد.